研究提出基于最大熵原理的半导体器件二筛有效性量化判定方法

针对半导体器件二次筛选有效性缺乏量化依据、过筛判定困难等问题,研究提出基于最大熵原理的二筛有效性量化判定方法。该方法推导出早期失效服从威布尔分布,将故障数据描述为非齐次泊松过程,并利用卡方分布计算生产环节故障数的区间估计,界定二筛故障比例上下限作为判定边界。实际案例验证表明,该方法可判定二筛有效性及是否存在过筛。

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