SEMI会员目录介绍,成立于1955年的FUTEC公司专注检测与测量系统,利用CCD/CMOS、X射线和红外传感技术,为半导体行业提供集成式膜厚测量单元,可对每片晶圆进行原位全表面检测,测量速度达每秒30万点,用于实时监控和良率提升。该公司称已在全球各行业部署超1.2万套系统。
SEMI会员目录介绍,成立于1955年的FUTEC公司专注检测与测量系统,利用CCD/CMOS、X射线和红外传感技术,为半导体行业提供集成式膜厚测量单元,可对每片晶圆进行原位全表面检测,测量速度达每秒30万点,用于实时监控和良率提升。该公司称已在全球各行业部署超1.2万套系统。