科准测控介绍晶圆Die推力测试原理、标准与设备操作流程

科准测控发文介绍晶圆Die推力测试,将晶圆真空吸附固定于专用工装,用推刀以恒定速度、特定剪切高度水平推压单个Die边缘,记录最大推力值。文中列出MIL-STD-883E、JESD22-B117、JESD22-B116、GJB548B-2005等参考标准,测试采用Alpha-W360推拉力测试机配合DS-100KG模块,样本共7颗,测试速度300 μm/s、剪切高度1 μm。

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