晶圆芯片推力测试方法介绍:原理、标准与操作步骤

科准测控介绍晶圆芯片推力测试方法,将晶圆真空吸附固定后用推刀水平推压单个Die至分离,记录最大推力值并支持CPK分析。文中列出MIL-STD-883E、JESD22-B117等参考标准,使用Alpha-W360推拉力测试机,测试速度300微米每秒、剪切高度1微米,共测7颗样品。

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