先导基电双赛道协同:凯世通三款离子注入机部分量产、导入头部12英寸客户,先导微电子6N四氯化铪规模化供货

2026湾芯展期间,先导基电旗下广东先导微电子科技有限公司与凯世通联合参展。离子注入机与上游材料同台,构成本次展出的两条主线。据两家公司现场披露,凯世通三款离子注入机已在逻辑、存储、化合物半导体产线完成验证,部分机型进入量产;先导微电子的6N级四氯化铪已实现规模化供货。(报道时间:2026年10月21日)

设备端:三款机型部分进入量产

凯世通副总经理张长勇介绍,公司近期推出三款产品:面向先进工艺的Hyperion低能大束流离子注入机、面向化合物半导体等应用的iKing 360,以及面向先进工艺的Orion中束流机型。三款机型分别在逻辑、存储、化合物半导体产线得到验证,部分机型已进入量产阶段,公司未指明具体机型。

在客户落地方面,Hyperion在国内头部12英寸逻辑、存储晶圆客户产线验证并释放产能;iKing 360已交付国内先进光电芯片客户产线。张长勇同时表示,凯世通新基地将陆续启动建设,但未给出时间表。

材料端:6N四氯化铪规模化供货

先导微电子销售总监黄昕介绍,四氯化铪主要用于存储与逻辑High-k材料,先进DRAM中用量较大。公司称,其是国内少数实现6N级四氯化铪稳定量产并规模化供货的企业,并已进入海外客户供应链。

另一款产品二氯二氧化钼用于3D NAND,前年已进入国内外领先3D NAND客户供应链。电子特气方面,公司聚焦硼、磷、砷、锗四种金属,产品包括锗烷、磷烷、乙硼烷、砷烷,用于外延掺杂与离子注入掺杂。

衬底业务起步较早:砷化镓衬底覆盖LED、Micro LED、Mini LED及射频、激光器芯片客户;锗衬底主要用于空间太阳能电池,以国内客户为主。

协同:联合验证与打包供应

按公司表述,协同首先体现在工艺联合验证上,先导微电子可在自有设备上验证特气与前驱体,再向客户提供整体方案;其次两家客户资源重合度较高,可打包供应设备、零部件与原物料;上游金属自供则用于把控杂质与品相、保障供应链稳定。

时间线上,2024年底凯世通被先导集团控股后双方已开展合作,特气与零部件在凯世通完成多款验证并经其送至客户;先导微电子于2026年8月并入先导基电。

已确认事项与待跟进信息

已确认:三款机型完成产线验证、部分机型量产;Hyperion进入国内头部12英寸逻辑与存储客户产线;6N级四氯化铪规模化供货。

待跟进:量产机型的具体型号、客户名称、新基地开工时间与产能规划、协同供货的实际规模。

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