元创精密展出双路线MFC产品,覆盖超90%半导体制程

2026年湾芯展上,先导科技集团旗下元创精密展出热式与压差式双路线MFC产品。公司称其为国内极少数同时实现两大技术路线规模化量产销售的企业,热式T系列已在主流代工厂批量出货,压差式VG80系列控制精度±0.5% S.P.,在刻蚀机台小流量气路实现切换,PG90系列大流量产品也已批量出货。公司2025年MFC出货量居国产前三,2026年订单增长,正通过多基地协同扩产。

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