据全球半导体观察2026年10月23日报道，在2026湾芯展上，元创精密展出热式与压差式两条技术路线的质量流量控制器（MFC）。公司市场战略与产品规划总监孙冉青在展会期间接受采访，介绍了双路线产品的出货情况与产能布局。
双路线产品均已批量出货
热式路线方面，基于毛细管热传导物性模型的T系列MFC已在主流代工厂批量出货。压差式路线方面，基于双阀PVT测量原理的VG80系列用于刻蚀机台小流量气路，基于单阀压差测量原理的PG90系列面向大流量气路，两款产品均已实现批量出货。
孙冉青表示，没有单一技术路线能覆盖全部半导体工艺，热式方案契合前驱体种类繁杂的薄膜沉积工艺，在离子注入机等特气微负压供应场景下具备低气压环境的测量稳定性；压差式方案则在启停响应与抗腐蚀介质控制方面具备特点。
订单增长与三地产能分工
2025年，元创流体MFC出货量居国产前三，产品在头部刻蚀、薄膜沉积及离子注入设备厂商完成验收并形成重复订单。2026年订单增长，产线处于满负荷运转状态。
- 广东清远全功能母基地：覆盖精密机加、无尘装配至出厂检测全流程，规划年产能10万支，并建有自建特气流量标定实验室，可引入真实特气开展全工况测试。
- 上海临港洁净装配基地：规划年产能20万支，贴近长三角与北方客户群。
- 江苏精密机械加工基地：承接MFC金属腔体与核心阀体加工，分流集团机加资源。
公司方面表示，关键装配工装与核心传感器制造设备多数由内部自主开发，产能扩张不受海外进口专用设备交期限制。
集团材料与验证协同
元创精密依托先导科技集团的材料开发能力，联合开展耐腐蚀合金、特种陶瓷等关键原材料的定向配方开发与试验；集团自建的晶圆制造工艺试验线覆盖刻蚀、CVD、离子注入等制程，产品在导入外部客户前于该产线完成真实工况在体验证、颗粒度控制与寿命测试。
价值占比与后续跟踪
MFC在半导体设备总价值量中占0.5%至2%，但流量控制偏差可能影响整批晶圆，直接关系良率与交付节奏。清远、临港两处规划产能的达产节奏，以及新增客户与工艺环节的验证进展，仍需持续跟踪。