国仪量子场发射扫描电镜进入CTI华测蔚思博失效分析实验室。华测蔚思博合肥FA实验室使用SEM4000X场发射扫描电镜承担截面分析和表面分析任务,设备配备能谱分析功能;上海FA实验室使用配置纳米探针台的SEM5000X,除高分辨率形貌观察外还可开展微区电性分析。
国仪量子场发射扫描电镜进入CTI华测蔚思博失效分析实验室。华测蔚思博合肥FA实验室使用SEM4000X场发射扫描电镜承担截面分析和表面分析任务,设备配备能谱分析功能;上海FA实验室使用配置纳米探针台的SEM5000X,除高分辨率形貌观察外还可开展微区电性分析。