浙江先导精密机械有限公司的高精密级别异形晶圆真空传输腔为2024年度浙江省首台（套）装备。公开信息显示，晶圆真空传输腔是半导体设备用真空腔体的一种，属于晶圆在过渡腔和反应腔之间转移的中间平台，通常与主设备配套，用于刻蚀、薄膜沉积（PVD/CVD/ALD）、离子注入、退火、外延等环节。
加工要求
原文指出，传输腔需要维持真空环境、洁净程度和耐腐蚀性能，对高精密制造技术、表面处理技术提出较高要求。材质通常采用不锈钢、铝合金、特种合金等，以满足高密封性、高真空度和耐腐蚀性。原文称，先进制程节点向3nm及以下演进，颗粒污染控制、真空度、定位精度等要求持续升级，超高真空、超高精密度、长使用寿命、耐强腐蚀、大尺寸、集成化、一体化成型成为重要设计方向。
需求与国产化
原文提及，2025年大陆晶圆月产能近450万片，但未注明统计口径与出处。该文同时称，海外厂商交付周期长、跨境运输成本高，在晶圆厂供应链本土化布局背景下，国产晶圆真空传输腔市场占比逐渐提升，未给出可量化数据。
相关企业
原文还列出上海大族富创得科技股份有限公司、泓浒（苏州）半导体科技有限公司、莱库（苏州）真空科技有限公司为相关企业，但未披露其具体产品进展、客户或订单信息。