IC产品可靠性测试里,寿命试验回答的是“能用多久”,而不是“现在合不合格”。HTOL(高温工作寿命)与LTOL(低温工作寿命)都属于服务寿命内的寿命试验,核心作用是用相对短的时间评估器件的长期耐久性。两者不是互相替代的关系,选哪一个主要看工艺节点、器件类型,以及产品实际面临的低温或高温工作条件。
质量看当下,可靠性看以后
质量是对产品性能的度量,回答的是产品是否满足规格(SPEC)、各项性能指标是否达标。可靠性是对产品耐久性的度量,回答的是产品在一个寿命周期内能用多久。
这个分工决定了试验方式不同。质量问题通常在产品生产出来后就能发现,设计和制造单位通过常规测试即可判断性能是否满足SPEC要求。可靠性问题要经过一段时间才暴露,所以寿命试验针对的是时间累积之后的失效,而不是出厂那一刻的即时性能判定。
HTOL:把正常寿命压缩到较短时间里
它要解决什么问题
HTOL的目的,是确定长期电偏置和温度对器件的影响,评估器件在过热、过压条件下经过一段时间后的耐久性。做法是让潜在的固有失效在正常寿命期内被加速,从而在较短时间内模拟产品的正常使用寿命。
什么时候用、用在哪类器件上
HTOL通常在产品发布和量产之前完成评估,一般以抽样方式进行。它也可以用于潜在缺陷产品的可靠性监控与风险评估,也就是产品已经在产,用它持续观察工艺或批次是否出现异常。
适用对象上,公开资料指出大多数0.1um以上的模拟和射频器件通常采用高温工作寿命评估。这类器件在实际使用中本身工作在偏热的条件下,高温加电偏置更接近真实应力。
LTOL:低温同样是应力
LTOL是服务寿命内的低温工作寿命试验。亚微米器件受热载流子效应影响显著——热载流子效应指载流子在强电场下获得较高能量、撞击界面造成损伤,使器件参数随时间退化。低温工作相对严苛,因此纳米级工艺产品,如存储器和处理器,通常需要做低温工作寿命测试。
LTOL的具体试验目的、温度条件、持续时间和失效判据,公开资料并未展开。工程上不能照搬高温试验的参数,应按产品规范或相应试验文件确认后再执行。
选用思路:先看器件,再看目的
判断分两步。第一步按工艺节点和器件类型定主线:0.1um以上的模拟、射频器件通常以HTOL评估为主;纳米级工艺的存储器、处理器通常需要LTOL。第二步按试验目的定定位:是产品发布、量产前的评估,还是量产后的可靠性监控与风险评价。
| 对比项 | HTOL | LTOL |
|---|---|---|
| 试验定位 | 服务寿命内的高温工作寿命试验 | 服务寿命内的低温工作寿命试验 |
| 主要应力 | 高温叠加长期电偏置,涉及过热、过压条件 | 低温工作条件 |
| 典型适用 | 大多数0.1um以上的模拟与射频器件 | 纳米级工艺的存储器、处理器等 |
| 常用时机 | 产品发布与量产前抽样评估,也可用于可靠性监控与风险评估 | 公开资料未展开 |
试验温度、电压、持续时间、样本量和失效判据,公开资料均未给出。这些参数直接决定结论是否成立,须回到产品规范或相应试验文件核实后再执行。
对设计和验证工作来说,这意味着两件事:寿命试验的结论要连同应力条件一起看,脱离条件谈“通过”没有意义;试验选型要在项目早期定下来,因为它影响样品数量、板卡与插座准备,也影响进度安排。