浙江先导精密机械有限公司的高精密级别异形晶圆真空传输腔为2024年度浙江省首台（套）装备。晶圆真空传输腔用于晶圆在过渡腔与反应腔之间转移。原文称先进制程演进推高真空度与定位精度要求，国产占比逐渐提升，但未给出可量化数据。
2026-11-03