标签:离子注入机

先导基电双赛道协同:凯世通三款离子注入机部分量产、导入头部12英寸客户,先导微电子6N四氯化铪规模化供货

先导基电双赛道协同:凯世通三款离子注入机部分量产、导入头部12英寸客户,先导微电子6N四氯化铪规模化供货

2026湾芯展期间,先导基电旗下先导微电子与凯世通联合参展。凯世通三款离子注入机分别在逻辑、存储、化合物半导体产线完成验证,部分机型进入量产;先导微电子称6N级四氯化铪已稳定量产并规模化供货,进入海外客户供应链。

admin admin 2026-10-22
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